內部結構極（jí）為緊湊（còu），高精（jīng）定位（wèi）運動平（píng）台

應用（yòng）於：視覺對位、視覺檢測、精（jīng）密裝配

• ▪由微型直線電機、微（wēi）型交叉（chā）滾柱導軌、編碼器反饋及結構底座組成
• ▪平台的編碼器位置反饋可（kě）選
• ▪行程10mm,其它行程（chéng）可定製
• ▪高精（jīng）度光柵尺，X、Y軸重複定位精（jīng）度可達±0.3μm